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CVI-1700系統
關 鍵 詞:CVI系統、化學氣相沉積、擴散試驗
CVI-1700體系由SGL-1700L蒸空箱管式爐,HQZ-Ⅳ混空氣系,蒸空箱壓強保持體系,氮氧化合物冷卻收藏治理 體系等主成。蒸空箱泵采進口抗灼傷膈膜蒸空箱泵,蒸空箱度可以達到到7.5x10-1Torr;可確保多路混合物空氣檢查是否色譜形成和分散耐壓。
型       號:CVI-1700
品       牌:鉅晶
發貨周期:1-5個工作日
接受訂制:可按要求定制
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CVI-1700整(zheng)體(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)由SGL-1700L高壓氣(qi)(qi)管式爐,HQZ-Ⅳ混氣(qi)(qi)控(kong)住系統(tong)性軟件(jian),機械泵(beng)體(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)體(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)壓強控(kong)住控(kong)住系統(tong)性軟件(jian),汽車(che)尾氣(qi)(qi)冷卻收藏正確處理(li)控(kong)住系統(tong)性軟件(jian)等主(zhu)成(cheng)。機械泵(beng)體(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)體(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)泵(beng)采美國進口抗被腐蝕隔閡(he)機械泵(beng)體(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)體(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)泵(beng),機械泵(beng)體(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)體(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)度能(neng)達到到7.5x10-1Torr;可建立(li)多路結合氣(qi)(qi)休有(you)機化學(xue)氣(qi)(qi)相色譜(pu)儀積聚(ju)和(he)擴散轉移(yi)實驗(yan)。

關鍵系統基本參數:

SGL-1700L

進口真空管式爐

單(dan)層爐殼間(jian)還配有風冷系統,更好以(yi)確(que)保(bao)機殼面溫(wen)

日本國能力進口(kou)真空(kong)離心分離完成的優良高純被氧化鐵多晶(jing)纖維棉固有(you)爐膛,保溫效果好(hao)

升溫pcb板適用可信賴U型硅鉬棒,表面層加熱器(qi)端差(cha)高(gao),極大的提高(gao)自己了其運用生命

儀器電源適配器

AC220V,50/60Hz;額定耗油(you)率(lv)耗油(you)率(lv)6KW

爐管

選(xuan)擇99被三氧化二鋁剛(gang)玉管(guan),低(di)密度(du)程(cheng)度(du)高,經久耐穿,很(hen)難斷

面積(ji):Φ80*/1000mm

剛玉支撐架(jia)架(jia),有效率 保障料(liao)件(jian)正處(chu)于溫區機(ji)構(gou)

法蘭片及撐起

SUS304不銹鋼材質的更(geng)快散熱法蘭部,繼(ji)續(xu)散熱無灼(zhuo)傷

一些卡箍接頭就能到位蝶閥(fa)法蘭(lan)的鏈接,放(fang)、取原料簡單比較(jiao)方便

調(diao)節節的活(huo)套法蘭作為支(zhi)撐(cheng)力,靜(jing)態平衡爐管的載荷(he)作為支(zhi)撐(cheng)力

含蓋(gai)進氣、排氣、真空室抽口(kou)針(zhen)閥(fa),KF密封蓋(gai)圈及管(guan)箍組合(he)名字,4個封閉硅(gui)膠制品圈等

升溫控制系統

升溫電氣元(yuan)件(jian):4根(gen)U型(xing)硅(gui)鉬(mu)棒

高(gao)溫區總長:280mm

恒溫區尺寸:100mm

工做溫濕度:≤1600℃

升溫快數率:≤10℃/min

恒溫軟件

環境溫(wen)度(du)操作運(yun)用機(ji)器智力調(diao)低(di)的技術,兼(jian)有PID調(diao)理、自整定功能鍵(jian)

50段升縮溫程度

溫度檢測組件:B型(xing)雙鉑銠熱(re)電阻

恒濕(shi)gps精度:±1℃

超溫、斷偶機械(xie)故障警報器及停(ting)電保護的

HQZ-Ⅳ

混氣平臺

高精(jing)準度質量(liang)參(can)數(shu)(shu)水流量(liang)計使用(yong)參(can)數(shu)(shu)接口方式進(jin)行連接電(dian)子設備,配資免(mian)費軟件公交實時人與機器數(shu)(shu)據交互程(cheng)序(xu)界(jie)面

四通暢質留量有(you)效控制(zhi),可(ke)也通入兩(liang)類(lei)其他甲烷氣體

內嵌(qian)不銹鋼(gang)混氣箱,每路混合氣體(ti)液壓(ya)管路均備有逆(ni)止閥

每路的(de)氣體進氣內部管(guan)道(dao)配帶(dai)不銹鋼(gang)裝飾管(guan)嗎(ma)針閥

流量的規格:0~30SLM

調整定位精度:±1.0%F.S

真空泵控制系統

所采用(yong)談起(qi)德(de)國(guo)LABOPORT長安(an)小(xiao)型抗侵蝕(shi)性隔閡真空系(xi)統泵,可(ke)以(yi)使用(yong)于侵蝕(shi)性性氣態和(he)水(shui)汽(qi)導電介質(zhi)

真空系統(tong)度(du)大約7.5x10-1 Torr

可長(chang)時(shi)長(chang)不間斷的工作,不需(xu)總怕泵因(yin)電壓不穩愛護(hu)而暫(zan)緩測試

可選裝配正空箱(xiang)表,實現(xian)目標對正空箱(xiang)及經濟(ji)壓力(li)的(de)調(diao)節器管控

性能氣物排放補救控制系統

冷凝水軟件

進行體(ti)(ti)溫(wen)(wen)衡(heng)溫(wen)(wen)槽,最體(ti)(ti)溫(wen)(wen)度會達-20℃

內(nei)部設(she)置不銹(xiu)鋼(gang)材(cai)質重(zhong)力作(zuo)用空(kong)調蒸發器灌,運(yun)用KF金屬接頭(tou),請理(li)采集而來(lai)簡單(dan)方便

槽(cao)體內(nei)冷液可外(wai)引,待冷卻機外(wai)研究貯罐(guan),也可在井內(nei)一直做常溫(wen)、衡溫(wen)科(ke)學實驗





上海鉅晶精密儀器制造有限公司   |   
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